Spezialgase sind Reinstgase und Gasgemische mit genau definierter Reinheit oder Zusammensetzung, die vor allem in Analytik, Forschung und Kalibrierung eingesetzt werden.
Typische Spezialgase:
- Reinstgase für die Analytik, etwa Helium oder Stickstoff
- Prüf- und Kalibriergase mit zertifizierter Zusammensetzung
- Gasgemische für die Emissionsmessung
- Gase für die Halbleiter- und Elektronikfertigung
- Seltene Gase wie Krypton oder Xenon
Zu Kalibriergasen gehört ein Zertifikat mit Angabe der Zusammensetzung und Messunsicherheit.
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